|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku
Kozelský, Adam ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje konstrukční řešeni mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak zpětně odražené a sekundární elektrony. Další kapitoly se zabývají historickým vývojem elektronové mikroskopie a environmentální elektronovou mikroskopii. Praktická část se zabývá problematikou detekce sekundárních elektronů scintilačním detektorem v rastrovacím elektronovém mikroskopu pracujícím při vyšším tlaku v komoře vzorku. Konkrétně optimalizaci napětí na sběrné mřížce a proměření tlakových závislostí.
|
|
|
Metoda napěťového kontrastu v EREM
Krňávek, Martin ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na environmentální rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje funkci mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak vznik zpětně odražených a sekundárních elektronů a metodu napěťového kontrastu. Praktická část se zabývá problematikou napěťového kontrastu pro sledování rozložení elektrických potenciálů na površích polovodičových součástek a stanovuje vhodné pracovní podmínky pro pozorování napěťového kontrasu pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů.
|
|
|
Metoda napěťového kontrastu v EREM
Krňávek, Martin ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na environmentální rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje funkci mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak vznik zpětně odražených a sekundárních elektronů a metodu napěťového kontrastu. Praktická část se zabývá problematikou napěťového kontrastu pro sledování rozložení elektrických potenciálů na površích polovodičových součástek a stanovuje vhodné pracovní podmínky pro pozorování napěťového kontrasu pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů.
|
|
|
Metoda napěťového kontrastu v EREM
Krňávek, Martin ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na environmentální rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje funkci mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak vznik zpětně odražených a sekundárních elektronů a metodu napěťového kontrastu. Praktická část se zabývá problematikou napěťového kontrastu pro sledování rozložení elektrických potenciálů na površích polovodičových součástek a stanovuje vhodné pracovní podmínky pro pozorování napěťového kontrasu pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku
Kozelský, Adam ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje konstrukční řešeni mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak zpětně odražené a sekundární elektrony. Další kapitoly se zabývají historickým vývojem elektronové mikroskopie a environmentální elektronovou mikroskopii. Praktická část se zabývá problematikou detekce sekundárních elektronů scintilačním detektorem v rastrovacím elektronovém mikroskopu pracujícím při vyšším tlaku v komoře vzorku. Konkrétně optimalizaci napětí na sběrné mřížce a proměření tlakových závislostí.
|
host ::
RSS.